В настоящее время DB-FIB (двойной сфокусированный ионный пучок) широко применяется в исследованиях и инспекции продукции в таких областях, как:
Керамические материалы,Полимеры,Металлические материалы,Биологические исследования.Полупроводники,Геология
Полупроводниковые материалы, органические низкомолекулярные материалы, полимерные материалы, органические/неорганические гибридные материалы, неорганические неметаллические материалы
В связи с быстрым развитием технологий полупроводниковой электроники и интегральных схем, растущая сложность структур устройств и схем повысила требования к диагностике процесса производства микроэлектронных чипов, анализу неисправностей и микро/нанопроизводству.Двухлучевая система FIB-SEMБлагодаря своим мощным возможностям прецизионной обработки и микроскопического анализа он стал незаменимым в проектировании и производстве микроэлектроники.
Двухлучевая система FIB-SEMИнтегрирует как сфокусированный ионный пучок (FIB), так и сканирующий электронный микроскоп (SEM). Он позволяет в режиме реального времени наблюдать с помощью SEM процессы микрообработки на основе FIB, сочетая высокое пространственное разрешение электронного пучка с возможностями точной обработки материалов ионным пучком.
Сайт-Специальная подготовка поперечного сечения
TВизуализация и анализ образцов с помощью ЭМ
SВыборочное травление или расширенный контроль травления
MТестирование осаждения металлического и изоляционного слоя